光学微电子净化工程又称清净室或无尘室,目前已是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、线路板制造和医药、生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。
光电车间净化工程是指不同级别电子厂净化车间或电子实验室的半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等工程。近几年来,因技术的创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化的需求越发迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。按行业标准要求,净化级别从10-30万级。净化的程度也直接影响了电子产品制作的质量。
光学微电子净化工程包含功能分区
1.洁净生产区
2.管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
3.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)。
性能参数
1、照度计可测参数
照度计量程:20Lx、200Lx、2000Lx、20000Lx
照度计最小可测光强:0.01Lx
2、低压电压表可测电压
电压表量程:DC200mV、DC2V、DC20V
电压表最小可测电压:0.1mV
3、高压电压表可测电压
电压表量程:DC20V、DC200V、DC20000V
电压表最小可测电压:0.1V
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